［& ］ 微加 工过 滤床 ， 称 之为 横向 过滤 器 。 .MB?G 等人设

  （ 0） 过滤 器的 结构 。传 统的 过 滤器 称 为 膜， 透过 性 和

  ［ (］ 筛 选性 是膜 的两 个重 要特 性 。 如 果把 微 过滤 器 近

  包括 进样 、 分离 和 检 测， 广义 的 还 涉及 到 反 应 !5-） ［0 ］ 和输运 ， 其 最 终目 标 是 在 微 芯 片上 实 现 化 学 全 分 析， 以取 代 常 规 分 析 实验 室 的 所 有 功 能

  统 离心 和磁分 离的 方法 ， 设 备体 积 大， 且 分离 过 程 独 立 于微 芯片之 外， 容易 导致 样品 的 污 染， 且不 利 于 微

  推荐：活性炭过滤器／活性碳过滤器ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｉｈｅｐａｆｉｌｔｅｒ．ｃｏｍ／

  为 了定 量 分 析 微 过 滤器 的 过 滤 效 率， 取相同体 积 混 合 液的 等 分 试 样， 分 别 在 扫 描电 镜 下 观 察 原 液

  ［ #］ 样品 和过 滤后 的滤 液 样品 ， 如 图 # 所 示。 过 滤 后，

  ) * ) 技术 设计 制作 了一 种条 栅状 的硅 微结 构的 过滤 器， 线 ， 周 期 , !4 。介 绍了 其制 作 工艺 ， 并 用碳 化硒 微粒 做了过 滤 实 验以 验 证 其 过 滤效 率 。 结果 表 明 ， 这 种 硅 微 过 滤 器能 有 效 去 除 悬 液中 直径 在 0 , !4 以 上的微 粒， 且生 物兼 容性 好， 结 构简 单， 易 于实 现片 内集 成。

  需 要， 有 必要 发展 一种 新的 微分 离技 术。 在所 有的 分 离 方 法 中， 过滤被认为 是最有希望 实现 临 床 检 验 的 方 法

  合， 配 制 成 均 匀 的 混 合 液。 用 移 液 器 吸 取 一 滴 （ K !C ） 于导 电玻 璃片 上， 静 置 烘干 后 ， 碳 化 硒微 粒 粘 附于 其上 ， 得 到 原 液 的 微粒 样 品 。 通 过 微 过 滤 器 过 滤后 ， 收 集滤 液 一 滴 （ K !C ） 于 导 电 玻 璃 片上 ， 烘 干， 制 成过 滤后 的微 粒样 品。

  滤 器 均 能很 好 地 和 微 芯 片兼 容 ， 而且 用 人 的 细 胞 做

  寸要 大， 这主 要 是 由 于 侧 蚀 引 起 的 。图 4 所 示 为 制 作 好的 微过 滤器 及局 部显 微照片 。

  ! !’ P !## !’ 的碳 化硒 微粒 做 过滤 实 验， 比较 过 滤 前 后混 合液 中单 位体积 内 的微 粒 含 量。 图 J 为 过 滤 装置 的示 意 图 ， 连 接 处 用胶 严 格 密 封 。 取 一 定 量 大 小 不 同的 碳 化 硒 微粒 ， 加入 去 离 子水 后 充 分 搅拌 混

  实 验说 明了 该微过 滤器 能有 效 过滤 分 离直 径 $ !% 。 大 于 $ !% 的 微 粒， 通 过改 变 掩 模 版 的 设 计 可 以 改 变条 栅的 线 宽 ， 以 分 离 不同 大 小 的 微 粒 。 相 比 较 于 高 聚 物 的 滤膜 ， 硅 微过 滤 器 对 细 胞 和 生物 大 分 子 的 粘 附性 较小 ， 结构 简单 ， 便 于清洗 ， 可 以重 复使 用。

  摘要： 为 了满 足微 型全 分 析 系统 对 样 品 分 离 的 集 成 度 要 求， 提 出 了 一 种 新 型 的 微 分 离 技 术。 利 用

  白 细胞 和进 行 6. O 反 应。 作为 发展 微 型 生 化 分 析 系 统 的 一 部 分 ， 希望设 计 一种结 构 简 单、 体积小、 便 于 集 成 的 微 过 滤 器， 以 实 现对血 细 胞 的 分 离。 本 文 利 用 ) * ) 技 术 设 计 制 作了 硅微 结构 的条 栅状 过滤 器 ， 用 于 分离 的 研 究， 给 出 了 具 体的 制 作 工 艺， 并 用 大 小 不 同的 碳 化 硒 微 粒 做了 原理 实验 以检 验其 过滤性 能。

  大 量的 碳化硒 微粒 被截 留 在过 滤 器上 ， 也 就 是 说， 大 于 $ !% 的 微粒 无 法通 过 ， 而小 于 $ !% 的 微 粒 通 过微 过滤 器 进 入 滤 液 。在 相 同 的 放 大 倍 率 下 ， 计算 导 电 玻 璃上 单 位 面 积 内 的碳 化 硒 微 粒 数， 多次计算 后 取平 均值。 由 图 & 可 以 看 出 ， 经 过微 过 滤 器 过 滤 后的液体中， 碳 化 硒 微 粒 的 个 数 明 显 减 少， 典 型的 $# !% 微 粒 的 个 数 减 少 至 原 液 的 & ’ 左 右，大 于 () !% 的微 粒几 乎没 有， # !% * $# !% 之间 微粒 的 减 少一 方面 是由 于小 微粒 粘附 在 微过 滤 器 的表 面 条 栅 上， 另一 方面 是由 于狭 缝很 深， 有足 够 的 空间 容 纳 比 狭 缝 小 或者 与 狭 缝 尺 寸 相当 的 小 微 粒， 这也是引起 过 滤通 道堵塞 的原 因。 由 图 可 以看 出， 该 硅微 过滤 器对 直径 为 $# !% 的 微 粒 具有 很 好 的 分 离 作用 ， 这 是由 微 过 滤 器 的 通 道 线 宽 决定 的 ， 因 为 所 加工 的 微 过 滤 器线 宽 为

  似 看作一 种 滤 膜， 由于其孔径大， 透过性好， 因此流 体 流速 快， 过滤通道不容易堵塞， 但筛选性差， 只能 过 滤比 其孔 径大 的微 粒； （ !） 制作 工 艺。 微 过滤 器 的 制 作工 艺 要 尽 量 简 单 ， 掩 模 版 的 使 用 以 及 硅 $硅 键

  ［ ,］ 合、 高聚 物键 合的 次数 要 尽量 少 。 基 于这 些 考 虑，